零件的輪廓在電腦屏幕上勾勒出一道黃色圓環(huán)，環(huán)內均勻分布著數(shù)百個代表小孔的綠色圓點，顯微探針捕捉到的環(huán)與點構成的圖像好似一座曼陀羅壇城。屏幕前的張慧仔細篩查著每一項參數(shù)，零件里任何一枚顆粒的“脫軌”都有可能導致半導體生產(chǎn)過程當中整個結構的“坍塌”。

張慧是北京亦盛精密半導體公司總經(jīng)理，自從2018年來到這家公司，她面臨的主要挑戰(zhàn)之一就是雕琢好這塊小孔密布的盤狀硅電極零件。在半導體生產(chǎn)過程中，四氟化碳等蝕刻氣體通過硅電極上的小孔進入生產(chǎn)腔，對晶圓發(fā)生作用。這個過程對硅電極的平滑和潔凈要求極高，在很長時間內，中國都不具備生產(chǎn)合格硅電極的能力，只能依賴進口產(chǎn)品。

2010年從學校畢業(yè)后，張慧進入一家微電子裝備制造公司工作。在8年的工作經(jīng)歷當中，張慧對零部件“卡脖子”問題產(chǎn)生了深刻體會。半導體生產(chǎn)是一項極其復雜的工藝，涉及幾千種形形色色的零部件。這些零件有的是耐用品，有的是消耗品。其中硅電極零件就是一種消耗品，但這種“耗材”的技術含量很高，同時發(fā)揮著不可或缺的關鍵作用。張慧有時把半導體生產(chǎn)線比喻成打印機，即如果只有機器整體，卻沒有硒鼓、墨盒這些消耗品，打印機也無法使用。因此，只有把每一枚看似不起眼的小零件打磨到極致，整個生產(chǎn)線才能順暢運轉。

懷著這樣的認知和抱負，張慧在2018年加入北京亦盛，負責整體督導該公司承接的國家科技重大專項，項目內容是關鍵零部件的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。經(jīng)歷9個月攻關，張慧及其團隊終于研發(fā)出了合格的硅電極。硅電極原理機的研發(fā)克服了兩個環(huán)節(jié)的難題，首先是如何打孔，爾后是如何確保其穩(wěn)定和潔凈，這兩個難題解決背后是數(shù)千次物理和化學實驗。原理機研發(fā)成功之后，產(chǎn)業(yè)化又成了新的挑戰(zhàn)。為此，張慧從合作企業(yè)處獲取反饋，又在實驗當中不斷改進硅電極零件。

“我們研發(fā)的是零件、耗材，但這項工作的‘含金量’并不低。集成電路生產(chǎn)涉及的技術領域太多了，沒有哪個人或者企業(yè)能夠全部掌握。每一道工序都是很重要的，任何一個細節(jié)不過關，都可能導致整個鏈條無法打通。”張慧總結說。

“我們也希望有更多年輕人才加入到半導體產(chǎn)業(yè)、加入到實體制造中來?！绷慵m小，卻包含著整個乾坤，顯微鏡內外都有廣闊的世界?；厥滓呀?jīng)走過的道路，看看正在發(fā)生的將來，張慧說，這樣的青春是值得的。